7月7日消息，ASML在昨天回應(yīng)了針對近期媒體關(guān)于ASML試圖規(guī)避荷蘭新銷售許可禁令，面向中國市場推出特別版DUV光刻機(jī)事宜的報(bào)道，ASML稱：公司一直以來都遵守所適用的法律條例，并沒有向中國市場推出任何特別版的光刻機(jī)。?
此前，據(jù)DigiTimes報(bào)道，ASML曾試圖規(guī)避荷蘭新銷售許可禁令，并計(jì)劃面向中國市場推出特別版的DUV光刻機(jī)。該報(bào)道稱，如果該項(xiàng)目得以繼續(xù)推進(jìn)，中芯國際、華虹等中國半導(dǎo)體企業(yè)將可以繼續(xù)使用荷蘭的設(shè)備生產(chǎn)28納米及更成熟工藝的芯片。
在此之前，荷蘭方面正式宣布了一項(xiàng)新的決定，要求企業(yè)在出口先進(jìn)設(shè)備前必須獲得許可證，新規(guī)定將在9月1日生效。在荷蘭新規(guī)出臺之后，ASML表示根據(jù)新出口管制條例規(guī)定，該公司需要向荷蘭政府申請?jiān)S可證后才能向中國出口先進(jìn)的光刻設(shè)備。
ASML在聲明中重點(diǎn)指出，荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及TWINSCANNXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)（DUV，深紫外光刻）。而該公司的EUV光刻（極紫外光刻）系統(tǒng)在此前已經(jīng)受到限制，其他系統(tǒng)的發(fā)運(yùn)暫未受荷蘭政府管控。
