5月3日消息，據(jù)俄羅斯媒體報(bào)道稱，為了加速研發(fā)自主光刻機(jī)，俄羅斯已經(jīng)敲定了相關(guān)的合作伙伴。據(jù)悉，俄羅斯將提供約100億盧布的信貸支持，資助兩個(gè)白俄羅斯微電子領(lǐng)域項(xiàng)目。這些項(xiàng)目包括集成電路成套工藝領(lǐng)域的Integral和精密光刻設(shè)備領(lǐng)域的Planar。此外，白俄羅斯方面還透露，已經(jīng)簽署了關(guān)于建立兩國光掩模開發(fā)和生產(chǎn)聯(lián)合中心的協(xié)議。?
這一舉措將使得“我們能夠開展聯(lián)合開發(fā)工作并減少白俄羅斯和俄羅斯消費(fèi)者對進(jìn)口供應(yīng)的依賴”。據(jù)了解，Planar公司（KBTEM-OMO）是東歐最大的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，已有50余年的半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與制造歷史，其產(chǎn)品包括基于激光直寫的圖形發(fā)生器、掩模檢測設(shè)備、掩模修補(bǔ)設(shè)備、接近/接觸光刻機(jī)、投影光刻機(jī)與硅片檢測設(shè)備等。此前，俄羅斯科學(xué)院曾宣稱，到2028年，自主研發(fā)的光刻機(jī)將問世，并可生產(chǎn)出7nm芯片。
然而，由于國際制裁的影響，俄羅斯半導(dǎo)體芯片短缺，加之美國、英國和歐盟也祭出多項(xiàng)制裁，幾乎所有擁有先進(jìn)晶圓制造商都停止與俄羅斯實(shí)體合作。ARM也無法將他們的技術(shù)授權(quán)給俄羅斯的芯片設(shè)計(jì)師。在這樣的背景下，俄羅斯科學(xué)院旗下應(yīng)用物理研究所表示，他們將會(huì)在2028年開發(fā)出可以生產(chǎn)7nm芯片的光刻機(jī)，并且可以擊敗ASML同類產(chǎn)品。
俄羅斯科學(xué)院納米結(jié)構(gòu)研究所副所長表示，全球光刻機(jī)領(lǐng)導(dǎo)者ASML近20年來一直致力于EUV曝光機(jī)，目標(biāo)是讓世界頂尖半導(dǎo)體廠商保持極高的生產(chǎn)效率。這一消息引起了業(yè)界廣泛關(guān)注。
總之，俄羅斯加速研發(fā)自主光刻機(jī)的舉措將有助于提高國家在半導(dǎo)體領(lǐng)域的競爭力，并對全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生重要影響。?
