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ASML在臺推進2nm晶圓光學(xué)研發(fā)

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4月9日,據(jù)臺灣地區(qū)“中央社”報道,ASML阿斯麥公司計劃在臺灣地區(qū)投資重金,針對2nm晶圓光學(xué)量測設(shè)備的研發(fā)制造,并向臺“經(jīng)濟部”申請A++企業(yè)研發(fā)補助案。據(jù)報道,ASML阿斯麥申請案將進入實質(zhì)審查的第二階段,預(yù)計在5月召開決審會議拍板通過,屆時補助額也將明確。?

ASML光刻機2nm.png

ASML去年宣布在臺灣擴大投資,計劃在林口建廠,第一期投資金額達(dá)300億新臺幣,預(yù)計將有2000名員工入駐。此外,ASML去年還向臺“經(jīng)濟部”提交申請,提出了針對2納米晶圓光學(xué)測量設(shè)備的研發(fā)補助方案,經(jīng)濟部已經(jīng)受理審查。根據(jù)規(guī)定,一旦通過審查,政府補助比例不會超過50%。

臺“經(jīng)濟部”的“A++企業(yè)創(chuàng)新研發(fā)淬煉計劃”旨在補助企業(yè)進行創(chuàng)新研發(fā)和前瞻產(chǎn)業(yè)技術(shù)開發(fā),每年預(yù)算約20億新臺幣(當(dāng)前約4.5億元人民幣)。該計劃吸引了國際大廠來臺研發(fā)生產(chǎn),并幫助該地區(qū)企業(yè)打入前端設(shè)備的供應(yīng)鏈。

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