1月17日，據(jù)TechNews報(bào)道，SK海力士正在對(duì)位于中國(guó)無(wú)錫的工廠進(jìn)行制程升級(jí)，并計(jì)劃通過(guò)運(yùn)輸方式繞過(guò)美國(guó)對(duì)華EUV光刻機(jī)出口禁令。
報(bào)道援引韓國(guó)市場(chǎng)人士的說(shuō)法指出，SK海力士計(jì)劃將中國(guó)無(wú)錫工廠的部分C2晶圓廠產(chǎn)能提升至10nm級(jí)的第四代（1a）DRAM制程技術(shù)，為應(yīng)對(duì)市場(chǎng)需求進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)做準(zhǔn)備。
_463.jpg "SK海力士的空中制程繞過(guò)EUV禁令1(1).jpg")
目前，中國(guó)無(wú)錫工廠是SK海力士最主要的生產(chǎn)基地，產(chǎn)能約占其DRAM總產(chǎn)量的40%。該工廠目前正在生產(chǎn)10nm級(jí)的第二代（1y）和第三代（1z）DRAM產(chǎn)品，屬于較舊制程技術(shù)。
然而，由于無(wú)法將EUV光刻機(jī)引入中國(guó)無(wú)錫工廠，SK海力士無(wú)法直接在無(wú)錫生產(chǎn)第四代DRAM。盡管2023年美國(guó)政府給予SK海力士相關(guān)的禁令豁免，允許其向中國(guó)無(wú)錫工廠進(jìn)口用于制造18nm及以下制程的DRAM生產(chǎn)設(shè)備，但EUV設(shè)備仍不被允許進(jìn)口到中國(guó)境內(nèi)。為解決這一難題，SK海力士選擇采用“運(yùn)輸”方式應(yīng)對(duì)制程轉(zhuǎn)換問(wèn)題。第四代DRAM晶圓的部分前道生產(chǎn)將在無(wú)錫工廠進(jìn)行，然后晶圓將被送回SK海力士總部所在的韓國(guó)利川園區(qū)完成EUV制程，然后再運(yùn)回?zé)o錫完成剩余流程。
據(jù)悉，由于EUV制程在第四代DRAM產(chǎn)品中只需要用到一層曝光，因此增加的成本是可接受的。事實(shí)上，該公司在2013年無(wú)錫工廠發(fā)生火災(zāi)期間就曾經(jīng)使用此方法克服DRAM生產(chǎn)中斷問(wèn)題。當(dāng)時(shí)部分生產(chǎn)線在火災(zāi)中被完全破壞造成生產(chǎn)中斷，部分生產(chǎn)完成的晶圓被裝載到飛機(jī)上帶回韓國(guó)利川工廠進(jìn)行缺失的必要工序，然后再運(yùn)回中國(guó)完成制造。通過(guò)“飛機(jī)運(yùn)晶圓”的方法，SK海力士將DRAM的供應(yīng)風(fēng)險(xiǎn)降到了最低，并在2個(gè)半月的時(shí)間內(nèi)快速恢復(fù)產(chǎn)能。
如今，SK海力士再次采用類似的解決方案應(yīng)對(duì)制程轉(zhuǎn)換問(wèn)題。這種“開腦洞”的解決方案是否意味著其他廠商在國(guó)內(nèi)無(wú)法特殊處理的工序也可以采用類似方式解決，值得我們拭目以待。
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