根據(jù)芯思想研究院（ChipInsights）的數(shù)據(jù)表明，2019年全球半導體、面板、LED用光刻機出貨約550臺，較2018年減少50臺。其中半導體前道制造用光刻機出貨約360臺；半導體封裝、面板、LED用光刻機出貨約190臺。
一、前道用光刻機情況
從EUV、ArFi、ArF機型的出貨來看，全年共出貨154臺。其中ASML出貨130臺，占有84%的市場，較2018年下降6個百分點。
EUV方面還是ASML獨占鰲頭，市占率100%；ArFi方面ASML市占率高達88%；ArF方面ASML占有63%的市場份額；KrF方面ASML也是占據(jù)63%的市場份額；在i線方面ASML也拿下了該拿的份額。
從總營收來看，2019年ASML、Nikon、Canon三巨頭光刻機總營收954億元人民幣，較2018年小幅增長。從營收占比來看，ASML占據(jù)74%的份額。雖然2019年光刻機出貨數(shù)量有所下滑，但高端機臺EUV、ArFi、ArF的出貨量增加，也使得總體營收微幅增長。?
ASML?2019年ASML光刻機營收達704億元人民幣，較2018年成長9%，增幅明顯收窄（2018年較2017年成長36%）。?2019年ASML共出貨229臺光刻機，較2018年224年增加5臺，增長2.23%。其中EUV光刻機出貨26臺，較2018年增加8臺；ArFi光刻機出貨82臺，較2018年減少4臺；ArF光刻機出貨22臺，較2018年增加6臺；KrF光刻機出貨65臺，較2018年減少13臺；i-line光刻機出貨34臺，較2018年增加8臺。?2019年ASML的EUV光刻機營收達217億元人民幣，較2018年增加70億元人民幣。2019年單臺EUV平均售價超過8億元人民幣，較2018年單臺平均售價增長3%。?值得注意的是，2019年第三季度，ASML開始出貨NXE:3400C，這是最新型的EUV光刻機，吞吐量達175wph（300毫米晶圓）。NXE:3400C目前累計出貨9臺，估算單價接近10億元人民幣。?2019年中國FAB建設高潮，多個FAB搬入設備，其中搬入ASML光刻機的有中芯南方基地、華虹無錫FAB7、粵芯半導體等。?Nikon?2019年，Nikon光刻機業(yè)務營收約156億元人民幣，較2018年下滑5.4%。?2019年，Nikon半導體用光刻機出貨46臺，較2018年增加10臺。其中ArFi光刻機出貨11臺，較2018年度增加6臺；ArF光刻機出貨13臺，較2017年度增加4臺；KrF光刻機出貨4臺，較2017年度減少1臺；i-line光刻機出貨18臺，較2017年度增加1臺。?2019年度，Nikon半導體用光刻機出貨46臺中，其中全新機臺出貨28臺，翻新機臺出貨18臺。?Canon?2019年，Canon光刻機營收約為94億元人民幣，較2018年下降21.3%。?2019年，Canon半導體用光刻機出貨達84臺，較2018年出貨量114臺，減少30臺，下滑26.3%；全部i-line、KrF兩個低端機臺出貨。?2019年12月，Canon宣布推出FPA-3030iWa型光刻機，預計2020年2月下旬發(fā)售。該機型采用的投影透鏡具有52毫米x52毫米的廣角，NA可從0.16到0.24范圍內(nèi)可調(diào)。新設備可以在2英寸到8英寸之間自由選擇晶圓尺寸的處理系統(tǒng)，方便支持各種化合物半導體晶圓，可運用在預計未來需求增長的汽車功率器件、5G相關的通信器件、IoT相關器件（如MEMS和傳感器等）的制造工藝中。?
二、面板、封裝、LED用光刻機情況
2017年Veeco收購Ultratech，增加了光刻市場的收入，主要是來自先進封裝和LED領域，銷售客戶包括先進封裝、晶圓制造、LED生產(chǎn)商。2019年公司來自先進封裝和LED用光刻機的營收約為3億元人民幣，預估銷售臺數(shù)在20臺以內(nèi)。?EVG
公司的光刻設備主要應用于先進封裝、面板等行業(yè)，當然公司也出售對準儀等。?
三、EUV進展
文章標簽：
光刻機
