據(jù)芯思想研究院報(bào)道：2019年全球半導(dǎo)體、面板、LED用光刻機(jī)出貨550臺(tái)，同比下降8.33%，其中半導(dǎo)體前道制造光刻機(jī)出貨約360臺(tái)，半導(dǎo)體封裝、面板、LED用光刻機(jī)約190臺(tái)。
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半導(dǎo)體前道制造光刻機(jī)廠商主要有三家ASML、NiKON、Canon，共出貨359臺(tái)，占65.3%，同比下降4.0%。
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以EUV、ArFi、ArF機(jī)型來(lái)看，全年共出貨154臺(tái)。
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ASML在2019年三季度推出EUV新機(jī)型NXE3400C，產(chǎn)能為175片/H，可滿足7/5nm工藝要求，在2021年將推出NXE5000樣機(jī)，可用于2nm生產(chǎn)，在2024年可面市供應(yīng)。ASML出貨130臺(tái)，占市場(chǎng)84%的份額，但比2018年占有率下降6個(gè)百分點(diǎn)；在EUV占100%、ArFi占88%、ArF占63%；2019年?duì)I收額達(dá)704億元人民幣，較2018年成長(zhǎng)9%，占到三大型光刻機(jī)市場(chǎng)總營(yíng)收入的73.8%的份額；出貨229臺(tái)，占到總出貨量的63.8%。
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NiKON ?2019年?duì)I收額為156億元人民幣，同比下降5.4%，出貨量為46臺(tái)，占到總量的12.8%。
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Canon 2019年?duì)I收額為94億元人民幣，同比下降21.3%，出貨量為84臺(tái)，占到總量的23.4%。
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SMEE（上海微電子）生產(chǎn)的光刻機(jī)主要用于IC前道、先進(jìn)封裝、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造領(lǐng)域。2019年出貨超50臺(tái)，與2018年基本持平。
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SUSS為德國(guó)公司，主要生產(chǎn)用于先進(jìn)封裝、MEMS、LED，年收入約9億元人民幣。
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EVG公司生產(chǎn)的光刻機(jī)主要用于先進(jìn)封裝、面板等行業(yè)，也生產(chǎn)對(duì)準(zhǔn)儀等。
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光刻機(jī)
